电子工业与电力能源用气
作者：admin 添加时间：2012-12-14 00:08 来源：未知
1． 电子工业用混合气
| 组分名称 | 平衡气 |
| HCl | N2、H2、Ar、He |
| PH3 | N2、Ar、He |
| PH3 | N2、H2、Ar、He |
| SiH4 | N2、H2、Ar、He |
| SiH4 | N2、H2、Ar、He |
| Cl2 | N2、Ar、He |
| NH3 | N2、H2、Ar、He |
| CF4 | N2、H2、Ar、He |
| AsH3 | N2、H2、Ar、He |
| AsH3 | N2、H2、Ar、He |
| B2H6 | N2、H2、Ar、He |
| B2H6 | N2、H2、Ar、He |
| CO | SF6 |
| H2 | N2 |
| NF3 | N2、H2、Ar、He |
| Zn(C2H5)2 | N2、H2、Ar、He |
| 组分名称 | 平衡气 |
| CH4 C2H2 C2H4 C2H6 H2 CO CO2 | N2 |
| 组分名称 | 平衡气 |
| N2 | Ar |
| Kr | Ar |
| CH3Br Kr | Ar |
| Ne | Ar |
| CH3Br Kr N2 | Ar |
| Kr Ar | N2 |
| CH3Br CH2Cl2 | Kr |
| Ar | Ne |